半导体芯片生产厂房为什么需要规划百级洁净车间

烟灰黯然跌落

半导体芯片生产厂房为什么需要规划百级洁净车间
近几年来， 由于半导体芯片在电脑， 通信等领域的广泛应用， 半导体制造业也在全球得到了飞速发展。在半导体制造业中， 由于其昂贵设备的敏感性和制造过程的复杂性， 工厂的布局变得不可以轻易更改， 初始的不良布局结果会导致庞大的物料搬运成本、 无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。 因此， 工厂的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题，在建厂初期他们就不得不对工厂进行谨慎详细的规划。这样， 工厂投产以后整体生产系统才能发挥最大的生产效能。
半导体无尘车间的设施规划包括设备布局设计和物料搬运系统设计两个方面， 通过这两方面的设计和优化， 最终能提高半导体厂的生产效率。
设施规划的特殊性与重要性

半导体制造过程的特殊性为其制造车间的设施规划带来了特殊性， 它一般按多（2～3）层结构设计。这首先是由于半导体制造过程中需要使用大量的液体（化学药品和纯净水） 和气体（它们的品种可达一百种以上） 。
这些气体和液体都是由布置在车间下层的、 对应于不同工作性能机台的各种气体、 液体输送及回收管道来提供供应和回收的。 此外， 还有各种用于电力、 气动力、 照明、 控制、 通信等目的的电气管线， 它们均与作业层的各种机台一一对应， 布线极为复杂， 而且牵一发而动全身； 一旦作业层的机台位置发生变动， 就会相应地引起各种管道、管线、 支管、 支线的变动。
所以， 现今半导体车间的设备布局一经确定一般会再有大的改变。 其次， 半导体制造机台极为昂贵（不少设备价值高达几百万美元） ， 并且性能极为精密， 因此， 对工作条件要求比较苛刻。 对这类设备的位置移动， 除可能造成设备损坏外， 而且由于位置的改变所必须对设备的重新调整，也会造成人力、 物力和财力上的很大损失。 第三， 由于半导体制造过程中， 硅圆片对洁净度的要求有着极为苛刻的要求， 因此需要尽量减少其与外界接触的时间。 而如果由于设施布置不合理， 就很容易造成物料搬运时间增加， 这一方面会增加 WIP（Work in Process） 数， 降低劳动生产率； 另一方面， 也会增加晶圆片暴露在空气中的时间， 也就会加大其被污染的可能性， 这又将直接导致良率的降低。

来源：http://www.yidianzixun.com/article/0lRxzgaR
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